11月01日下午，通达大讲堂在实验楼学术报告厅举行。本次讲座邀请到了365游戏大厅方玉明教授担任主讲人，讲座主题为“微机电系统的发展、研究与应用”。
图1 365游戏大厅方教授专题讲座
方教授首先给同学们介绍了MEMS（Micro Electro-Mechanical System）的基本概念及特点。说明了MEMS的处理过程、处理内容，并从材料、加工、功能、外界环境、标准及装配元件等方面比较了微电子与微机械；接着介绍了MEMS的发展历程，从19世纪的照相制版技术到2000年以后的各种的MEMS器件，还介绍了一些国内外生产MEMS芯片的龙头企业；再介绍了MEMS的典型生产流程，包括两大类：体微加工和表面微加工技术；最后介绍了MEMS在军事、信息、航空航天、生物医疗、汽车工业、工业控制、玩具等领域的应用。最后，方教授以美国机器狗“Bigdog”的发展历程结束了本次讲座。
通过本次讲座让学生对微机电系统的发展、研究与应用有了全面的了解，现场同学们也对微机电系统表现出了极大的兴趣，同时也让学生对未来的研究方向有了新的思考。
图2讲座现场照片
专家介绍：方玉明，博士，教授，硕士生导师。集成电路科学与工程学院微电子技术系系主任。多年来，从事研究生“集成电子学”“微机电系统概述”，留学生“集成电路基础”，本科生“固态电子器件”等主干课程的教学工作。
主持参加研究生及本科生教改项目10项以上。 作为第一负责人承担了国家级自然科学基金、江苏省自然科学基金、江苏省高校自然科学基金、国家地方联合工程实验室开放课题等国家级、省部级等科研项目多项。在国际、国内核心期刊和学术会议发表论文60余篇，其中被SCI、EI收录多篇。
获得江苏省‘青蓝工程’优秀青年骨干教师、江苏省‘青蓝工程’优秀教学团队、365游戏大厅教学标兵奖、两次获得365游戏大厅先进个人称号等。
（撰稿：陈潇 编辑：李家艳 初审：韦剑 审核： 徐文慧）
